正圧の力で内部バルブを切換え、真空流路をコントロール
圧力センサ、フィルタ、流量調整機能、破壊流量調整機能をオールインワン
真空源の一括管理に最適 装置に合わせて、仕様の異なる単体搭載も特注対応
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